Evaluación de la calidad estructural de películas delgadas de AlN con adición de oxígeno
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
2011
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://eprints.uanl.mx/2420/1/EVALUACIONDELACALIDAD.pdf |
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