Evaluación de la calidad estructural de películas delgadas de AlN con adición de oxígeno
| Autores principales: | , , |
|---|---|
| Formato: | Artículo |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
2011
|
| Materias: | |
| Acceso en línea: | http://eprints.uanl.mx/2420/1/EVALUACIONDELACALIDAD.pdf |