Caracterización de películas delgadas de AlN fabricadas por la técnica de erosión iónica II: propiedades ópticas y cálculos teóricos

Con la técnica de erosión iónica reactiva se fabricó un conjunto de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) a temperatura ambiente. Con espectroscopia elipsométrica se midieron los parámetros delta, psi (, D) y el índice de refracción (n) en función de la energía. Con estos parámetros óptic...

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Bibliographic Details

Main Authors:	García Méndez, Manuel, Morales Rodríguez, Santos, Machorro Mejía, Roberto, Galván, Donald H.
Format:	Article
Language:	English
Published:	2009
Subjects:	QC Física T Tecnología en General
Online Access:	http://eprints.uanl.mx/1944/1/PELICULASDELGADAS.pdf