Caracterización de películas delgadas de AlN fabricadas por la técnica de erosión iónica II: propiedades ópticas y cálculos teóricos
Con la técnica de erosión iónica reactiva se fabricó un conjunto de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) a temperatura ambiente. Con espectroscopia elipsométrica se midieron los parámetros delta, psi (, D) y el índice de refracción (n) en función de la energía. Con estos parámetros óptic...
| Autores principales: | , , , |
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| Formato: | Artículo |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
2009
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | http://eprints.uanl.mx/1944/1/PELICULASDELGADAS.pdf |