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Síntesis y caracterización de películas delgadas semiconductoras

En este trabajo se presentan los resultados de una investigación que consistió en el depósito y crecimiento de películas delgadas de nitruro de aluminio (aln) empleando la técnica de erosión iónica reactiva por corriente directa (Dc). Se describe el análisis experimental de las propiedades...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Autores principales:	García Méndez, Manuel, Morales Rodríguez, Santos
Formato:	Artículo
Lenguaje:	inglés
Publicado:	M.A. Alma Patricia Calderón Martínez 2013
Materias:	Q Ciencias en General QC Física
Acceso en línea:	http://eprints.uanl.mx/3453/1/SINTESIS_Y_CARACTERIZACION_DE_PELICULAS_DELGADAS_SEMICONDUCTORAS.pdf

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