Síntesis y caracterización de películas delgadas semiconductoras
En este trabajo se presentan los resultados de una investigación que consistió en el depósito y crecimiento de películas delgadas de nitruro de aluminio (aln) empleando la técnica de erosión iónica reactiva por corriente directa (Dc). Se describe el análisis experimental de las propiedades...
| Autores principales: | , |
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| Formato: | Artículo |
| Lenguaje: | inglés |
| Publicado: |
M.A. Alma Patricia Calderón Martínez
2013
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | http://eprints.uanl.mx/3453/1/SINTESIS_Y_CARACTERIZACION_DE_PELICULAS_DELGADAS_SEMICONDUCTORAS.pdf |
| Sumario: | En este trabajo se presentan los resultados de una
investigación que consistió en el depósito y crecimiento
de películas delgadas de nitruro de aluminio (aln)
empleando la técnica de erosión iónica reactiva
por corriente directa (Dc). Se describe el análisis
experimental de las propiedades estructurales de las
películas. |
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