Síntesis y caracterización de películas delgadas semiconductoras
En este trabajo se presentan los resultados de una investigación que consistió en el depósito y crecimiento de películas delgadas de nitruro de aluminio (aln) empleando la técnica de erosión iónica reactiva por corriente directa (Dc). Se describe el análisis experimental de las propiedades...
| Autores principales: | , |
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| Formato: | Artículo |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
M.A. Alma Patricia Calderón Martínez
2013
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | http://eprints.uanl.mx/3453/1/SINTESIS_Y_CARACTERIZACION_DE_PELICULAS_DELGADAS_SEMICONDUCTORAS.pdf |