Síntesis y caracterización de películas delgadas semiconductoras

En este trabajo se presentan los resultados de una investigación que consistió en el depósito y crecimiento de películas delgadas de nitruro de aluminio (aln) empleando la técnica de erosión iónica reactiva por corriente directa (Dc). Se describe el análisis experimental de las propiedades...

Full description

Bibliographic Details

Main Authors:	García Méndez, Manuel, Morales Rodríguez, Santos
Format:	Article
Language:	English
Published:	M.A. Alma Patricia Calderón Martínez 2013
Subjects:	Q Ciencias en General QC Física
Online Access:	http://eprints.uanl.mx/3453/1/SINTESIS_Y_CARACTERIZACION_DE_PELICULAS_DELGADAS_SEMICONDUCTORAS.pdf