Síntesis y caracterización de películas delgadas semiconductoras
En este trabajo se presentan los resultados de una investigación que consistió en el depósito y crecimiento de películas delgadas de nitruro de aluminio (aln) empleando la técnica de erosión iónica reactiva por corriente directa (Dc). Se describe el análisis experimental de las propiedades...
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M.A. Alma Patricia Calderón Martínez
2013
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| author | García Méndez, Manuel Morales Rodríguez, Santos |
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| description | En este trabajo se presentan los resultados de una
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de películas delgadas de nitruro de aluminio (aln)
empleando la técnica de erosión iónica reactiva
por corriente directa (Dc). Se describe el análisis
experimental de las propiedades estructurales de las
películas. |
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| institution | UANL |
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| publishDate | 2013 |
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