Evaluación de la calidad estructural de películas delgadas de AlN con adición de oxígeno
Autores principales: | García Méndez, Manuel, Morales Rodríguez, Santos, Ruiz Tello, Javier |
---|---|
Formato: | Artículo |
Lenguaje: | inglés |
Publicado: |
2011
|
Materias: | |
Acceso en línea: | http://eprints.uanl.mx/2420/1/EVALUACIONDELACALIDAD.pdf |
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