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Evaluación de la calidad estructural de películas delgadas de AlN con adición de oxígeno

Bibliographic Details
Main Authors:	García Méndez, Manuel, Morales Rodríguez, Santos, Ruiz Tello, Javier
Format:	Article
Language:	English
Published:	2011
Subjects:	Q Ciencias en General T Tecnología en General
Online Access:	http://eprints.uanl.mx/2420/1/EVALUACIONDELACALIDAD.pdf

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