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Evaluación de la calidad estructural de películas delgadas de AlN con adición de oxígeno

Bibliographic Details
Main Authors: García Méndez, Manuel, Morales Rodríguez, Santos, Ruiz Tello, Javier
Format: Article
Language:English
Published: 2011
Subjects:
Q Ciencias en General
T Tecnología en General
Online Access:http://eprints.uanl.mx/2420/1/EVALUACIONDELACALIDAD.pdf
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