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Depósito de películas ultradelgadas de óxido de zinc (ZnO) por ALD

En este trabajo se reportan los resultados obtenidos en el crecimiento de películas ultradelgadas de óxido de zinc, mediante la técnica de depósito por capas atómicas (ALD). Las películas de ZnO presentan un crecimiento policristalino con estructura hexagonal tipo wurtzita, pero con orden cristalog...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Martínez G., Eduardo, Flores, José, Pérez Tijerina, Eduardo
Formato:	Artículo
Lenguaje:	inglés
Publicado:	2010
Materias:	TP Tecnología Química
Acceso en línea:	http://eprints.uanl.mx/2186/1/peliculasultradelgadas.pdf

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