Caracterización de películas delgadas de AlN fabricadas por la técnica de erosión iónica II: propiedades ópticas y cálculos teóricos

Con la técnica de erosión iónica reactiva se fabricó un conjunto de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) a temperatura ambiente. Con espectroscopia elipsométrica se midieron los parámetros delta, psi (, D) y el índice de refracción (n) en función de la energía. Con estos parámetros óptic...

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