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Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) y nitruro de aluminio oxidado (AlNO) depositadas por la técnica de erosión iónica

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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Morales Rodríguez, Santos
Formato:	Tesis
Lenguaje:	Spanish / Castilian
Publicado:	2008
Materias:	QD Química TP Tecnología Química
Acceso en línea:	http://eprints.uanl.mx/21212/1/1020163970.pdf

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