Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) y nitruro de aluminio oxidado (AlNO) depositadas por la técnica de erosión iónica
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Tesis |
| Language: | Spanish / Castilian |
| Published: |
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://eprints.uanl.mx/21212/1/1020163970.pdf |