Síntesis y caracterización de películas delgadas semiconductoras - García Méndez, Manuel; Morales Rodríguez, Santos (M.A. Alma Patricia Calderón Martínez, 2013)
En este trabajo se presentan los resultados de una investigación que consistió en el depósito y crecimiento de películas delgadas de nitruro de aluminio (aln) empleando la técnica de erosión iónica reactiva por corriente directa (Dc). Se describe el análisis experimental de las propiedades estructurales de las películas.