Depósito de películas ultradelgadas de óxido de zinc (ZnO) por ALD
En este trabajo se reportan los resultados obtenidos en el crecimiento de películas ultradelgadas de óxido de zinc, mediante la técnica de depósito por capas atómicas (ALD). Las películas de ZnO presentan un crecimiento policristalino con estructura hexagonal tipo wurtzita, pero con orden cristalog...
| Autores principales: | , , |
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| Formato: | Artículo |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
2010
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | http://eprints.uanl.mx/2186/1/peliculasultradelgadas.pdf |