Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) y nitruro de aluminio oxidado (AlNO) depositadas por la técnica de erosión iónica

Bibliographic Details
Main Author: Morales Rodríguez, Santos
Format: Tesis
Language:Spanish / Castilian
Published: 2008
Subjects:
Online Access:http://eprints.uanl.mx/21212/1/1020163970.pdf