Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) y nitruro de aluminio oxidado (AlNO) depositadas por la técnica de erosión iónica
Main Author: | |
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Format: | Tesis |
Language: | Spanish / Castilian |
Published: |
2008
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Subjects: | |
Online Access: | http://eprints.uanl.mx/21212/1/1020163970.pdf |