Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) y nitruro de aluminio oxidado (AlNO) depositadas por la técnica de erosión iónica
| Autor principal: | |
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| Formato: | Tesis |
| Lenguaje: | Spanish / Castilian |
| Publicado: |
2008
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | http://eprints.uanl.mx/21212/1/1020163970.pdf |