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Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) fabricadas por la técnica de erosión iónica

Se utilizó la técnica de erosión iónica reactiva para fabricar un conjunto de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) a temperatura ambiente. Las muestras se analizaron por medio de difracción de rayos X y de espectroscopia de fotoemisión de electrones (XPS: X-ray photoemission spectro...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Autores principales:	García Méndez, Manuel, Morales Rodríguez, Santos, Cruz Hernández, Wencel de La, Ramírez Vidaurri, Luciano Eliézer
Formato:	Artículo
Lenguaje:	inglés
Publicado:	2008
Materias:	TP Tecnología Química TS Manufacturas
Acceso en línea:	http://eprints.uanl.mx/1848/1/PELICULASDELGADAS.pdf

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