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Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) fabricadas por la técnica de erosión iónica

Se utilizó la técnica de erosión iónica reactiva para fabricar un conjunto de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) a temperatura ambiente. Las muestras se analizaron por medio de difracción de rayos X y de espectroscopia de fotoemisión de electrones (XPS: X-ray photoemission spectro...

Full description

Bibliographic Details
Main Authors:	García Méndez, Manuel, Morales Rodríguez, Santos, Cruz Hernández, Wencel de La, Ramírez Vidaurri, Luciano Eliézer
Format:	Article
Language:	English
Published:	2008
Subjects:	TP Tecnología Química TS Manufacturas
Online Access:	http://eprints.uanl.mx/1848/1/PELICULASDELGADAS.pdf

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