Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) fabricadas por la técnica de erosión iónica
Se utilizó la técnica de erosión iónica reactiva para fabricar un conjunto de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) a temperatura ambiente. Las muestras se analizaron por medio de difracción de rayos X y de espectroscopia de fotoemisión de electrones (XPS: X-ray photoemission spectro...
| Autores principales: | , , , |
|---|---|
| Formato: | Artículo |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
2008
|
| Materias: | |
| Acceso en línea: | http://eprints.uanl.mx/1848/1/PELICULASDELGADAS.pdf |